極紫外 (EUV) 球面反射鏡
簡(jiǎn)介：極紫外 (EUV) 球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計(jì)，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可最大程度地降低散射。這對(duì) EUV 波長(zhǎng)必不可少，因?yàn)?EUV 波長(zhǎng)的散射比長(zhǎng)波長(zhǎng)更多. TECHSPEC EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會(huì)在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。EUV 球面反射鏡的 典型應(yīng)用包括相干衍射極紫外 (EUV) 球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計(jì)，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可最大程度地降低散射。這對(duì) EUV 波長(zhǎng)必不可少，因?yàn)?EUV 波長(zhǎng)的散射比長(zhǎng)波長(zhǎng)更多. TECHSPEC 成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.
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