衍射光束整形器
簡(jiǎn)介：衍射光束整形器是一種衍射光學(xué)元件（DOE），它將具有近似高斯分布的激光束轉(zhuǎn)換成在透鏡焦點(diǎn)處具有均勻強(qiáng)度分布的二維形狀。這些衍射光束整形器有兩種類型，頂帽式或穩(wěn)定頂帽式。與穩(wěn)定頂帽光束整形器相比，，頂帽式光束整形器具有更大的傳輸區(qū)域，但具有更好的離焦性能。全息/衍射光束整形器用于材料加工應(yīng)用，包括激光切割、刻劃和燒蝕，以及照明應(yīng)用，如晶圓檢驗(yàn)和光刻。
注：衍射光學(xué)元件不建議在其設(shè)計(jì)波長(zhǎng)之外使用。如果衍射光學(xué)元件的表面因油或其他物質(zhì)而變臟，則會(huì)降低其性能。處理這些光學(xué)元件時(shí)，建議始終使用手套或手指套。
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