納米圖案硅印章
簡(jiǎn)介：納米圖案硅印章由在單晶硅基板上形成圖案的納米級(jí)紋理表面組成。通過(guò)反應(yīng)離子蝕刻，具有梯形橫截面的線性凹槽被蝕刻到基板表面，類(lèi)似于傳統(tǒng)的光柵。蝕刻工藝可為這些凹槽提供不同的周期和深度規(guī)格，以及更復(fù)雜的圖案，例如晶格。II-VI LightSmyth? 納米圖案硅印章是光學(xué)和光子學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、納米壓印和微流體領(lǐng)域的納米光子學(xué)研究應(yīng)用的理想選擇。
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